一種大規(guī)格尺寸藍寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210587579.7 申請日 -
公開(公告)號 CN103046135B 公開(公告)日 2015-08-12
申請公布號 CN103046135B 申請公布日 2015-08-12
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;吳智洪;劉自強 申請(專利權(quán))人 上海昀豐新能源科技有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州恒嘉晶體材料有限公司
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)晨豐公路357號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大規(guī)格尺寸藍寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu),包括側(cè)面加熱器和底部加熱器;其中側(cè)面加熱器采用兩個沿軸向通過絕緣件緊固連接的銅環(huán)作為電極,分別為第一銅電極和第二銅電極,在這兩個銅電極上分別沿周向安裝有多個U型鎢棒形成筒狀結(jié)構(gòu)作為發(fā)熱體,且U型鎢棒在第一銅電極和第二銅電極上分別按軸對稱排列方式固定;底部加熱器采用雙螺旋鎢絲根據(jù)熱場需要構(gòu)建同心發(fā)熱環(huán),雙螺旋鎢絲通過雙螺旋連接螺絲連接于電極板上,底部通過U型支撐鎢棒支撐。本發(fā)明所提供的大規(guī)格尺寸藍寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)可以為大規(guī)格尺寸藍寶石晶體的生長創(chuàng)造有利的熱場條件,同時有效降低了藍寶石爐的生產(chǎn)成本。