一種氮化鋁晶體制備爐及其保溫裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210568237.0 申請日 -
公開（公告）號 CN102995116B 公開（公告）日 2015-05-20
申請公布號 CN102995116B 申請公布日 2015-05-20
分類號 C30B23/00(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;施海斌;張國華 申請（專利權(quán)）人 上海昀豐新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海昀豐新能源科技有限公司;浙江昀豐新材料科技股份有限公司
地址 201315 上海市浦東新區(qū)康橋鎮(zhèn)康意路499號2幢A座5545室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置，包括用于套設(shè)在加熱器外側(cè)的保溫筒；設(shè)置在坩堝底端的底部保溫屏和設(shè)置在所述坩堝頂端的頂部保溫屏。本發(fā)明提供的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置通過保溫筒對加熱器形成側(cè)面保溫層，通過底部保溫屏對加熱器的底端形成底部保溫層，通過頂部保溫屏對加熱器的頂端形成頂部保溫層，這樣一來，本發(fā)明提供的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置對加熱器的圓周側(cè)面、頂部以及底部分別設(shè)置了保溫層，提高了保溫性能，有利于獲取長晶要求的軸向溫度梯度，提高了氮化鋁晶體的生長質(zhì)量。本發(fā)明還提供了一種氮化鋁晶體制備爐，包括保溫裝置，所述保溫裝置為本發(fā)明提供的氮化鋁晶體制備爐的保溫裝置。