一種LED襯底材料生長的控制系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210533302.6 申請日 -
公開（公告）號 CN102995112B 公開（公告）日 2015-12-09
申請公布號 CN102995112B 申請公布日 2015-12-09
分類號 C30B15/20(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;汪海波;廖德元;鄧鵬飛 申請（專利權(quán)）人 上海昀豐新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王寶筠
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)晨豐公路357號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種LED襯底材料生長的控制系統(tǒng)，包括：主系統(tǒng)、籽晶旋轉(zhuǎn)分系統(tǒng)、籽晶升降分系統(tǒng)、電源控制分系統(tǒng)、晶體成像分系統(tǒng)以及晶體稱重系統(tǒng)，其中，所述主系統(tǒng)包括：可編程邏輯控制器、開關(guān)量輸入模塊、開關(guān)量輸出模塊、模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊、數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊、串口通訊模塊、第一計(jì)數(shù)模塊以及第二計(jì)數(shù)模塊。其中，分系統(tǒng)通過各個(gè)模塊與主系統(tǒng)相連，有效的解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于晶體生長爐中各個(gè)子系統(tǒng)不能集成而導(dǎo)致的控制繁瑣、成本高的問題。