一種晶體硅太陽能電池片鍍膜工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310227823.3 申請日 -
公開（公告）號 CN103290374B 公開（公告）日 2016-03-16
申請公布號 CN103290374B 申請公布日 2016-03-16
分類號 C23C14/34(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡黨平;付少劍;何偉;連維飛;苗成祥;魏青竹;保羅 申請（專利權）人 泗陽騰暉光電有限公司
代理機構 蘇州華博知識產權代理有限公司 代理人 中利騰暉光伏科技有限公司;蘇州騰暉光伏技術有限公司
地址 223800 江蘇省宿遷市泗陽縣經濟開發(fā)區(qū)眾興東路211號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶體硅太陽能電池片鍍膜工藝，所述工藝包括以下步驟：（1）進舟：將硅片放入石英舟中；（2）升溫：通入氮氣后升溫；（3）預清洗：同時通入氮氣和氨氣并開啟射頻進行預清洗；（4）等離子濺射沉積：通入氨氣和硅烷，開啟射頻等離子濺射沉積；（5）出舟；（6）冷卻。本發(fā)明的有益效果是：縮短生產時間，提升生產產能，縮短工藝運行時間縮短6分鐘；節(jié)省氨氣使用量，降低生產成本；改善氮化硅薄膜的均勻性；提升電池片的轉換效率；方法簡單可行，不需要增加額外工序步驟和物料。