一種多晶鏈?zhǔn)蕉嗖街平q工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310224208.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103346204B 公開（公告）日 2016-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN103346204B 申請(qǐng)公布日 2016-08-10
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張風(fēng)雷;苗成祥;魏青竹;保羅;連維飛;何偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 泗陽(yáng)騰暉光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中利騰暉光伏科技有限公司;蘇州騰暉光伏技術(shù)有限公司
地址 223800 江蘇省宿遷市泗陽(yáng)縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)眾興東路211號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多晶鏈?zhǔn)蕉嗖街平q工藝，所述工藝至少包括以下步驟：（1）第一步制絨：高濃度腐蝕；（2）第二步制絨：中濃度腐蝕；（3）第三步制絨：低濃度腐蝕；其中，所述每一步制絨所使用的制絨液均是硝酸、氫氟酸和水的混合溶液；每后一步驟所使用的制絨液中酸液濃度小于前一步驟制絨液中的酸液濃度。本發(fā)明的有益效果是：通過多步制絨方式實(shí)現(xiàn)硅表面損傷層的去除并制得小尺寸、低反射率絨面，從而有效提高電池短路電流，提升電池效率。此工藝在量產(chǎn)過程中，不需要引入新的化學(xué)品，不增加生產(chǎn)成本，通過原設(shè)備改造就能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)效果。