一種分流防護(hù)干法窗口以及干法測(cè)試系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110332404.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113125316A 公開(kāi)(公告)日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113125316A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類(lèi)號(hào) G01N15/02(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 陳浩 申請(qǐng)(專利權(quán))人 珠海歐美克儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 陳慧華
地址 519085廣東省珠海市高新區(qū)唐家灣鎮(zhèn)科技三路33號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種分流防護(hù)干法窗口,包括:樣品窗體,內(nèi)部設(shè)有供氣流通過(guò)的氣流腔體;兩塊光學(xué)玻璃窗口,相對(duì)設(shè)置在樣品窗體的左右側(cè)壁上,二者之間形成測(cè)試區(qū)域;樣品噴管,豎直穿設(shè)在氣流腔體中,供樣品流通,末端設(shè)有樣品噴出口,樣品噴出口朝向測(cè)試區(qū)域;分流體,延伸方向與樣品噴管的軸向一致,呈中部寬兩端窄,設(shè)置在樣品噴管靠近樣品噴出口的一端上,且位于氣流腔體內(nèi)。本發(fā)明還公開(kāi)了一種干法測(cè)試系統(tǒng)。本干法窗口結(jié)構(gòu)巧妙,通過(guò)在樣品噴出口之前設(shè)置分流體的方式,并巧妙的利用分流體呈中部寬兩端窄的形狀特性,有效的保護(hù)了光學(xué)玻璃窗口不被樣品粉塵顆粒污染,進(jìn)而減小了測(cè)試過(guò)程中的背景噪音,提高了樣品粒度測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。