一種遠程控制自動拉制區(qū)熔硅單晶的系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122656212.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216712308U 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN216712308U 申請公布日 2022-06-10
分類號 C30B13/00（2006.01）I;C30B13/28（2006.01）I;C30B13/30（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李小龍;王遵義;劉凱;張強;劉琨;孫健;吳磊;郝大維;張志富;孫晨光;王彥君 申請（專利權(quán)）人 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 天津濱海科緯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 214200江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)東氿大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種遠程控制自動拉制區(qū)熔硅單晶的系統(tǒng),配合一臺及以上的自帶PLC控制器的區(qū)熔爐，包括遠端控制工作站、設(shè)置在區(qū)熔爐中爐室側(cè)面的信號窗口、每個信號窗口外側(cè)對應(yīng)設(shè)置有多臺相機；每個區(qū)熔爐對應(yīng)設(shè)置一臺單爐工控機，每臺區(qū)熔爐信號窗口外側(cè)對應(yīng)的多臺相機的信號輸出端均與對應(yīng)的單爐工控機信號接收端連接；相機的信號輸出端還與遠端控制工作站連接；所述單爐工控機與遠端控制工作站均與PLC控制器連接。本實用新型所述的遠端控制工作臺實現(xiàn)遠程觀察控制多臺區(qū)熔爐內(nèi)生產(chǎn)情況，也可就單爐工控機對某一個區(qū)熔爐進行觀察控制，靈活性強，且遠程控制減少工作人員，降低生產(chǎn)成本。