一種遠程控制自動拉制區(qū)熔硅單晶的系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202122656212.3 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN216712308U | 公開(公告)日 | 2022-06-10 |
申請公布號 | CN216712308U | 申請公布日 | 2022-06-10 |
分類號 | C30B13/00(2006.01)I;C30B13/28(2006.01)I;C30B13/30(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 李小龍;王遵義;劉凱;張強;劉琨;孫健;吳磊;郝大維;張志富;孫晨光;王彥君 | 申請(專利權(quán))人 | 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司 |
代理機構(gòu) | 天津濱海科緯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 214200江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)東氿大道 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型提供了一種遠程控制自動拉制區(qū)熔硅單晶的系統(tǒng),配合一臺及以上的自帶PLC控制器的區(qū)熔爐,包括遠端控制工作站、設(shè)置在區(qū)熔爐中爐室側(cè)面的信號窗口、每個信號窗口外側(cè)對應(yīng)設(shè)置有多臺相機;每個區(qū)熔爐對應(yīng)設(shè)置一臺單爐工控機,每臺區(qū)熔爐信號窗口外側(cè)對應(yīng)的多臺相機的信號輸出端均與對應(yīng)的單爐工控機信號接收端連接;相機的信號輸出端還與遠端控制工作站連接;所述單爐工控機與遠端控制工作站均與PLC控制器連接。本實用新型所述的遠端控制工作臺實現(xiàn)遠程觀察控制多臺區(qū)熔爐內(nèi)生產(chǎn)情況,也可就單爐工控機對某一個區(qū)熔爐進行觀察控制,靈活性強,且遠程控制減少工作人員,降低生產(chǎn)成本。 |
