固態(tài)參比電極及其壓頭裝置和制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010236533.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN111307905A 公開(kāi)(公告)日 2020-06-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN111307905A 申請(qǐng)公布日 2020-06-19
分類號(hào) G01N27/327(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張志峰;孫銀霞;廖閩 申請(qǐng)(專利權(quán))人 張家港萬(wàn)眾一芯生物科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 215000江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)雙龍村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種固態(tài)參比電極及其壓頭裝置和制備方法,其中,第一涂層、第一導(dǎo)電層、硅晶片、第二導(dǎo)電層和信號(hào)傳輸結(jié)構(gòu);沿所述第一涂層至所述第二導(dǎo)電層的垂直方向上,所述第一涂層、所述第一導(dǎo)電層、所述硅晶片和所述第二導(dǎo)電層依次層疊;所述信號(hào)傳輸結(jié)構(gòu)焊接在所述第二導(dǎo)電層上,所述第一涂層位于所述第一導(dǎo)電層背離所述硅晶片的一側(cè)表面,本發(fā)明實(shí)施例提出的固態(tài)參比電極方便保存和維護(hù),其電壓穩(wěn)定性高,可適用于精密的電化學(xué)檢測(cè),電極體積小,可以適用于測(cè)序儀相關(guān)的微小結(jié)構(gòu)中。??