一種半導(dǎo)體材料研磨加工裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921857102.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210909501U | 公開（公告）日 | 2020-07-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210909501U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-03 |
| 分類號(hào) | B24B37/00;B24B37/27;B24B37/34;B24B47/12;B24B41/02 | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李國琪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖北方晶電子科技有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 宜昌市慧宜專利商標(biāo)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 夏冬玲 |
| 地址 | 443699 湖北省宜昌市秭歸縣茅坪鎮(zhèn)建東大道197號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種半導(dǎo)體材料研磨加工裝置，包括底座，所述的底座上設(shè)有研磨箱體，研磨箱體的其中一個(gè)側(cè)面為開口面，與開口面相對(duì)的側(cè)面上設(shè)有條形開口，條形開口中設(shè)有能夠在條形開口內(nèi)上下移動(dòng)的升降板，升降板上設(shè)有電機(jī)，電機(jī)的轉(zhuǎn)軸豎直向下設(shè)置且電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有研磨輪；底座上設(shè)有立柱與伸縮桿，立柱與伸縮桿分別設(shè)置在研磨箱體兩側(cè)，立柱的上端與伸縮桿的上端分別鉸接連接調(diào)節(jié)桿兩端，調(diào)節(jié)桿中部連接升降板位于研磨箱體外的一面；電機(jī)正下方的底座上設(shè)有夾持機(jī)構(gòu)。采用上述結(jié)構(gòu)，能夠?qū)Π雽?dǎo)體材料進(jìn)行有效夾持固定，并在完成一面的研磨作業(yè)之后，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體材料的快速翻轉(zhuǎn)，省去人工拆裝半導(dǎo)體材料的步驟，提高了半導(dǎo)體材料的加工效率。 |
