一種晶圓夾持裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922103501.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN211208416U 公開(kāi)（公告）日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN211208416U 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類(lèi)號(hào) H01L21/687 分類(lèi) -
發(fā)明人 孔劍;臧曉園;徐晨晨;劉景業(yè) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 東臺(tái)鐳創(chuàng)光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董建林
地址 224200 江蘇省鹽城市東臺(tái)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)中歐產(chǎn)業(yè)園4號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓夾持裝置，包括夾持臂、連接組件和至少三個(gè)晶圓夾鉤；所述夾持臂的側(cè)面設(shè)有吸氣口，所述夾持臂內(nèi)部安裝有與所述吸氣口相連的抽氣機(jī)構(gòu)；所述連接組件包括與所述夾持臂底部固接的豎軸、與所述豎軸垂直固接的橫軸以及設(shè)于所述橫軸外圍的圓環(huán)，所述圓環(huán)能夠以橫軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)；所述晶圓夾鉤安裝于所述圓環(huán)且能夠相對(duì)圓環(huán)移動(dòng)。本實(shí)用新型能夠高效夾取豎向或橫向放置的晶圓。