一種用于倒裝焊的液壓裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010064151.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111390465B 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN111390465B 申請公布日 2022-03-22
分類號 H01L21/603（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周文洪;劉斌;金迎春;黃立 申請（專利權）人 武漢高芯科技有限公司
代理機構 北京匯澤知識產權代理有限公司 代理人 鄭飛
地址 430205湖北省武漢市東湖開發(fā)區(qū)黃龍山南路6號2號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于倒裝焊的液壓裝置，包括下壓裝置，下壓裝置包括裝置主體及安裝板；裝置主體內設有用于盛裝高壓液體的空腔及多滑道，各滑道位于空腔下側，安裝板的上表面設有多個壓力柱，各壓力柱滑動于各滑道內，空腔內可通入高壓液體推動各壓力柱向下運動。本發(fā)明根據液壓的等壓強原理以及分散的壓力柱替代整塊的高平整度高硬度的夾具，壓力均勻地分散到每一根壓力柱，且不受樣品表面高低形貌影響，從而最終材料表面各個區(qū)域壓力也相同，凸點形變和互連效果能保持一致。倒裝焊互連效果不會因材料平整、顆粒污染等產生局部過壓或欠壓的問題；高度自適應作用使倒裝焊可以完全不需要找平，省去了設備高精度萬向頭的成本，同時提高倒裝焊效率。