一種雙極性線路板的制作工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810228607.3 申請日 -
公開（公告）號 CN108400114B 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號 CN108400114B 申請公布日 2021-12-17
分類號 H01L21/82;H01L21/77 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈利明 申請（專利權(quán)）人 江蘇金泰新減速機(jī)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東營雙橋?qū)＠碛邢挢?zé)任公司 代理人 李夫壽
地址 225400 江蘇省泰州市泰興市泰興高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)文昌東路109號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種雙極性線路板的制作工藝，包括以下步驟：S1、襯底的選擇：選擇<100>晶向的硅片以及襯底的電阻率選擇ρ≈10Ω.cm；S2、第一次光刻：n+隱埋層擴(kuò)散孔光刻；S3、生長外延層；S4、第二次光刻：P隔離擴(kuò)散孔光刻；S5、第三次光刻：N型基區(qū)擴(kuò)散孔光刻；S6、第四次光刻：N+發(fā)射區(qū)、集電極歐姆接觸區(qū)光刻；S7、第五次光刻：引線孔光刻；S8、淀積鋁：采用金屬鋁作為電極引線，進(jìn)行鋁的淀積，用蒸發(fā)與濺射的方法在表面淀積一層金屬鋁；S9、第六次光刻：反刻鋁，按照電路的連接要求刻出相應(yīng)的鋁條形狀，把表面多余的鋁膜通過反刻除去，制作成一個n公開號型晶體管。