一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123337524.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216772102U 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN216772102U 申請公布日 2022-06-17
分類號 G02B21/26（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 胡建力;郭清;張斌 申請（專利權(quán)）人 浙江大學(xué)紹興微電子研究中心
代理機(jī)構(gòu) 紹興鋒行知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 312000浙江省紹興市越城區(qū)皋埠鎮(zhèn)銀橋路326號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種金相顯微鏡觀察半導(dǎo)體用載樣臺，包括底座、旋轉(zhuǎn)桿和夾板夾具，所述旋轉(zhuǎn)桿可繞其軸線轉(zhuǎn)動地設(shè)置于底座上，旋轉(zhuǎn)桿連接有能夠控制旋轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動的控制旋鈕；所述夾板夾具固定設(shè)置于旋轉(zhuǎn)桿的端部，用于夾持待觀察半導(dǎo)體。本實(shí)用新型能夠在短時(shí)間內(nèi)方便、快捷的觀察樣品表面和截面及其他角度，提供多角度的樣品形貌數(shù)據(jù)。