一種單片集成的三質(zhì)量MEMS電容差分式三軸加速度計(jì)的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810108278.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108303567B | 公開（公告）日 | 2020-04-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108303567B | 申請(qǐng)公布日 | 2020-04-24 |
| 分類號(hào) | G01P15/125;B81B7/02;B81C1/00 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 郭小偉;李紹榮;張孔欣;王毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 揚(yáng)州市蘇為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司 |
| 地址 | 225008 江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)維揚(yáng)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)園中路26號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種單片集成的三質(zhì)量MEMS電容差分式三軸加速度計(jì)的制備方法。涉及傳感器領(lǐng)域，具體涉及單片集成的三質(zhì)量MEMS電容差分式三軸加速度計(jì)的制備方法。此三軸加速度計(jì)三軸有各自的質(zhì)量塊，且將X、Y、Z三軸加速度計(jì)集成在單個(gè)基片，X、Y軸加速度計(jì)分列在Z軸加速度計(jì)兩邊，各個(gè)軸向采用平板差分式電容。本發(fā)明中的加速度計(jì)采用三個(gè)質(zhì)量塊，三軸之間交叉干擾最小，穩(wěn)定性好；X、Y、Z三個(gè)方向均采用平板差分式電容檢測(cè)，檢測(cè)準(zhǔn)確性高；采用SOI硅片工藝，三軸加速度計(jì)同時(shí)成型，工藝簡單，易于批量生產(chǎn)，可重復(fù)度高。與現(xiàn)有的單片集成三軸加速度計(jì)一樣，具有體積小，無需人工校準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn)。 |
