蒸鍍坩堝組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921366837.2 申請日 -
公開（公告）號 CN210237756U 公開（公告）日 2020-04-03
申請公布號 CN210237756U 申請公布日 2020-04-03
分類號 C23C14/30(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 游佩武;王毅 申請（專利權(quán)）人 揚州杰利半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 揚州市蘇為知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 揚州杰利半導(dǎo)體有限公司
地址 225008江蘇省揚州市邗江區(qū)維揚經(jīng)濟開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)園中路26號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 蒸鍍坩堝組件。涉及蒸鍍設(shè)備，尤其涉及蒸鍍坩堝組件。提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，提高工作效率的蒸鍍坩堝組件。包括銅坩堝，其特征在于，還包括石墨坩堝和支撐組，所述石墨坩堝通過支撐組設(shè)在銅坩堝內(nèi)，所述支撐組包括支撐體和四個彈簧，所述支撐體設(shè)在銅坩堝的底部、且用于支撐石墨坩堝，四個彈簧呈環(huán)形設(shè)在銅坩堝的內(nèi)壁，所述石墨坩堝位于四個彈簧之間。本實用新型方便加工，操作可靠。??