晶片加工用立式舟

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022678547.0 申請日 -
公開（公告）號 CN212991061U 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN212991061U 申請公布日 2021-04-16
分類號 H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李曉佳;王毅 申請（專利權(quán)）人 揚州杰利半導體有限公司
代理機構(gòu) 揚州市蘇為知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 葛軍
地址 225008江蘇省揚州市邗江區(qū)維揚經(jīng)濟開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)園中路26號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 晶片加工用立式舟。提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，提高使用可靠性和適應(yīng)性的晶片加工用立式舟。包括瓦片狀舟體和支撐組件，所述支撐組件包括一對對稱設(shè)置的舟頭和一對平行設(shè)置的支撐棒，一對支撐棒連接在一對舟頭之間，所述舟體連接在一對支撐棒上、且位于一對舟頭之間；所述舟頭包括立板一、立板二和一對平行設(shè)置的側(cè)板，所述立板一平行于立板二，一對側(cè)板連接在立板一和立板二之間，所述立板一和立板二之間形成推拉槽。本實用新型方便晶片排片放置，操作可靠，在需要進行不同規(guī)格的晶片排放時，通過擋板進行分隔，方便可靠。??