AgPdCu合金及其制備方法、AgPdCu合金濺射靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010102276.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111235425B 公開(kāi)（公告）日 2021-04-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN111235425B 申請(qǐng)公布日 2021-04-06
分類號(hào) C22F1/14(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C22C5/06(2006.01)I;C22C5/08(2006.01)I 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 張玉玲;諸斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 杜帥
地址 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)汾湖經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)汾楊路東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種AgPdCu合金及其制備方法、AgPdCu合金濺射靶材及其制備方法。AgPdCu合金包括按照原子百分比的如下組分：Pd 0.1％～1.5％；Cu 0.1％～1.5％；以及Ag 97％～99.8％。經(jīng)試驗(yàn)證明，本發(fā)明上述技術(shù)方案的AgPdCu合金用于濺射靶材時(shí)，能夠提高AgPdCu合金濺射靶材的抗氧化性能。??