鋁釹合金旋轉濺射靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010710119.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112048703A 公開（公告）日 2020-12-08
申請公布號 CN112048703A 申請公布日 2020-12-08
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張玉玲 申請（專利權）人 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
代理機構 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
地址 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)汾湖經濟開發(fā)區(qū)汾楊路東側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種鋁釹合金旋轉濺射靶材及其制備方法。鋁釹合金旋轉濺射靶材包括本體，本體的最外層為氧化層，本體包括濺射端和分別位于濺射端兩邊的安裝端，濺射端與安裝端為一體成型。上述鋁釹合金旋轉濺射靶材中，一方面，濺射端與安裝端為一體成型，這樣能夠避免焊接質量不良影響濺射效果；另一方面，本體的最外層為氧化層，保證了本體具有足夠的硬度，從而不易損壞。上述整體使得本發(fā)明的鋁釹合金旋轉濺射靶材有利于應用。??