導(dǎo)電鋅-錫氧化物靶材及其制備方法與應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110361835.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113087519A 公開（公告）日 2021-07-09
申請公布號 CN113087519A 申請公布日 2021-07-09
分類號 C04B35/453（2006.01）I;C04B35/457（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/632（2006.01）I;C04B35/634（2006.01）I;C04B35/636（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 張玉玲;甘志儉 申請（專利權(quán)）人 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 李美
地址 215200江蘇省蘇州市吳江區(qū)汾湖經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)汾楊路東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明靶材制備領(lǐng)域，特別是涉及一種導(dǎo)電鋅?錫氧化物靶材及其制備方法與應(yīng)用。本發(fā)明通過將5～20質(zhì)量份的SnO粉體、80～95質(zhì)量份的SnO2粉體和輔料進(jìn)行預(yù)處理得到SnOx粉體，再將SnOx粉體與ZnO粉體混合造粒、加工成型、燒結(jié)，即可得到導(dǎo)電的鋅?錫氧化物靶材。SnO2是滿價(jià)氧化物不導(dǎo)電，SnOx中由于失去一部分氧，造成氧空位缺陷，形成了P型半導(dǎo)體從而能實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電；一定比例的用量可以將SnOx粉體中X的取值范圍控制在1.80～1.95，從而將靶材電導(dǎo)率維持在合理范圍內(nèi)，因此，在將靶材運(yùn)用在后續(xù)鍍膜工序中時(shí)，既保證了鍍膜效率，又能有效地控制鍍膜成本，無需在鍍膜工序中大量填充氧氣，鍍膜效果更好，且使用壽命更長。