一種物理氣相沉積鍍膜設(shè)備的基片架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920559046.5 申請日 -
公開（公告）號 CN210367893U 公開（公告）日 2020-04-21
申請公布號 CN210367893U 申請公布日 2020-04-21
分類號 C23C14/50 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王建 申請（專利權(quán)）人 國民薄膜太陽能科技（淄博）有限公司
代理機構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭棟梁
地址 255086 山東省淄博市高新區(qū)民祥路1999號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種物理氣相沉積鍍膜設(shè)備的基片架，涉及真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，所述基片架包括基片架本體和頂針機構(gòu)，基片架本體呈豎直設(shè)置的方形框架結(jié)構(gòu)，所述基片架本體的兩側(cè)均裝設(shè)有至少一個夾具組件，用于固定玻璃板，所述夾具組件上開設(shè)有功能孔；頂針機構(gòu)位于所述基片架本體的一側(cè)，與所述夾具組件一一對應(yīng)設(shè)置，所述頂針機構(gòu)的輸出端與所述功能孔對應(yīng)設(shè)置，用于控制所述夾具組件對所述玻璃板的固定。本實用新型的基片架通過頂針機構(gòu)插入到功能孔內(nèi)并在功能孔內(nèi)的撥動實現(xiàn)對夾具組件的固定與松開的操作，準(zhǔn)確率高，磨損小，可以精準(zhǔn)穩(wěn)定的控制夾具組件，保證基片架上下玻璃片的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。