一種快速定位晶圓中心的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011620816.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112729115A 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN112729115A 申請公布日 2021-04-30
分類號 G01B11/00;H01L21/66;H01L21/68 分類 測量；測試;
發(fā)明人 沈凱 申請（專利權(quán)）人 芯鈦科半導體設備（上海）有限公司
代理機構(gòu) 上?？剖⒅R產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 丁云
地址 200070 上海市靜安區(qū)共和新路912號1102-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種快速定位晶圓中心的裝置，該裝置包括至少兩組對射的光電傳感器組，所述的光電傳感器組包括發(fā)射傳感器(1)和接收傳感器(2)，所述的光電傳感器組用于晶圓從發(fā)射傳感器(1)和接收傳感器(2)之間水平移動時定位晶圓中心，所述的晶圓水平移動時，所述的發(fā)射傳感器(1)的光信號垂直于晶圓水平移動的平面，該裝置還包括用于獲取接收傳感器(2)接收信號并定位晶圓中心的處理器；所述的處理器根據(jù)接收傳感器(2)接收信號確定晶圓水平移動通過時晶圓的圓周上的至少兩條弦，并根據(jù)兩條弦計算晶圓中心點位置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、定位快速精準等優(yōu)點。