一種用于自動(dòng)識(shí)別晶圓盒中物件的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011619393.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112670216A 公開(kāi)（公告）日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112670216A 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 芯鈦科半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上?？剖⒅R(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 丁云
地址 200070 上海市靜安區(qū)共和新路912號(hào)1102-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于自動(dòng)識(shí)別晶圓盒中物件的裝置，包括：加熱組件，用于熱輻射晶圓盒(1)中處于表面的物件；測(cè)溫組件，用于獲取晶圓盒(1)中處于表面的物件的溫度變化曲線；處理器，用于根據(jù)溫度變化曲線識(shí)別晶圓盒(1)中處于表面的物件的種類。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、識(shí)別準(zhǔn)確度高等優(yōu)點(diǎn)。