一種用于晶圓中心自動(dòng)定位的線接觸晶圓臺(tái)盤(pán)、裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011619423.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112670228A 公開(kāi)（公告）日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112670228A 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類號(hào) H01L21/683;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈凱;戴直義 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 芯鈦科半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海科盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 丁云
地址 200070 上海市靜安區(qū)共和新路912號(hào)1102-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于晶圓中心自動(dòng)定位的線接觸晶圓臺(tái)盤(pán)、裝置，所述的晶圓臺(tái)盤(pán)包括圓柱臺(tái)(1)，所述的圓柱臺(tái)(1)上表面設(shè)有用于支承晶圓的圓錐面(2)，所述的圓錐面(2)與所述的圓柱臺(tái)(1)同軸且圓錐面(2)頂點(diǎn)朝向圓柱臺(tái)(1)下底面方向，當(dāng)所述的晶圓置于所述的圓錐面(2)上時(shí)，所述的晶圓邊緣與所述的圓錐面(2)線接觸，所述的晶圓中心與圓錐面(2)同軸，所述的圓柱臺(tái)(1)還設(shè)有用于將該圓柱臺(tái)(1)固定在外部臺(tái)面上的固定孔(3)。用于晶圓中心自動(dòng)定位的裝置包括晶圓臺(tái)盤(pán)和用于抓取晶圓(4)的機(jī)械手(5)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠等優(yōu)點(diǎn)。