一種拾取晶圓盒中透氣材料的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120317122.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214279939U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214279939U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/683（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 沈凱 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 芯鈦科半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上?？剖⒅R(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 丁云 |
| 地址 | 200070上海市靜安區(qū)共和新路912號(hào)1102-1室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種拾取晶圓盒中透氣材料的裝置，該裝置包括伯努利盤(pán)（1）、導(dǎo)流盤(pán)（2）和氣管接頭（3），所述的導(dǎo)流盤(pán)（2）固定在伯努利盤(pán)（1）下表面中間區(qū)域并與伯努利盤(pán)（1）之間形成空氣流通間隙，所述的空氣流通間隙通過(guò)氣管接頭（3）連接連通至氣源，所述的導(dǎo)流盤(pán)（2）用于將輸入至空氣流通間隙中的氣流向伯努利盤(pán)（1）周側(cè)導(dǎo)通分散。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了透氣材料的自動(dòng)化拾取，無(wú)需人工參與，大大提高生產(chǎn)效率，降低人力成本。 |
