一種拾取晶圓盒中透氣材料的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110166392.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112802791A 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN112802791A 申請公布日 2021-05-14
分類號 H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈凱 申請（專利權(quán)）人 芯鈦科半導體設(shè)備（上海）有限公司
代理機構(gòu) 上?？剖⒅R產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 丁云
地址 200070 上海市靜安區(qū)共和新路912號1102-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種拾取晶圓盒中透氣材料的裝置，該裝置包括伯努利盤（1）、導流盤（2）和氣管接頭（3），所述的導流盤（2）固定在伯努利盤（1）下表面中間區(qū)域并與伯努利盤（1）之間形成空氣流通間隙，所述的空氣流通間隙通過氣管接頭（3）連接連通至氣源，所述的導流盤（2）用于將輸入至空氣流通間隙中的氣流向伯努利盤（1）周側(cè)導通分散。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實現(xiàn)了透氣材料的自動化拾取，無需人工參與，大大提高生產(chǎn)效率，降低人力成本。