靜電微機(jī)電系統(tǒng)換能器、制造方法及電子設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111314136.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114148985A 公開（公告）日 2022-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114148985A 申請(qǐng)公布日 2022-03-08
分類號(hào) B81B7/02（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 鄒泉波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 歌爾微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 柳巖
地址 266101山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號(hào)青島國(guó)際創(chuàng)新園二期F樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開公開了一種靜電微機(jī)電系統(tǒng)換能器、制造方法及電子設(shè)備。該靜電微機(jī)電系統(tǒng)換能器包括：第一電極；相對(duì)于第一電極能移動(dòng)的第二電極；以及位于第一電極和第二電極之間的電介質(zhì)層，其中，所述電介質(zhì)層包括標(biāo)準(zhǔn)部分和泄漏部分，所述標(biāo)準(zhǔn)部分的材料是標(biāo)準(zhǔn)電介質(zhì)材料，所述泄漏部分的材料是泄漏電介質(zhì)材料。