微機電系統(tǒng)磁傳感器的制造方法、磁傳感器和電子設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111315848.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114143688A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114143688A 申請公布日 2022-03-04
分類號 H04R19/00（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I 分類 電通信技術;
發(fā)明人 鄒泉波;丁凱文;冷群文;黨茂強;詹慕航 申請（專利權）人 歌爾微電子股份有限公司
代理機構 北京博雅睿泉專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 馬鐵良
地址 266101山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號青島國際創(chuàng)新園二期F樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種微機電系統(tǒng)磁傳感器的制造方法、磁傳感器和電子設備。該微機電系統(tǒng)磁傳感器的制造方法包括：在襯底上形成犧牲層；在犧牲層上形成微機電系統(tǒng)層；在微機電系統(tǒng)層上形成用于感測的磁源和磁阻；在微機電系統(tǒng)層上蝕刻出微機電系統(tǒng)溝槽，其中，溝槽至少包括與微機電系統(tǒng)磁傳感器的背孔聯(lián)通的聯(lián)通溝槽；通過剝離工藝在包括磁源和磁阻的微機電系統(tǒng)層上形成經(jīng)構圖的鈍化層；以及在形成鈍化層之后，在襯底和犧牲層中形成背孔。