微機(jī)電系統(tǒng)壓電麥克風(fēng)、其制造方法及電子設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111314139.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114143687A 公開（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN114143687A 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) H04R17/02（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 鄒泉波;王喆 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 歌爾微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王永亮
地址 266101山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號(hào)青島國(guó)際創(chuàng)新園二期F樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種微機(jī)電系統(tǒng)壓電麥克風(fēng)、其制造方法及電子設(shè)備。該制造方法包括：在器件襯底上形成壓電麥克風(fēng)器件層，其中，所述器件襯底是激光透明的；對(duì)器件襯底進(jìn)行處理以形成背洞；以及通過從所述器件襯底側(cè)照射激光，利用激光剝離從所述器件襯底釋放所述壓電麥克風(fēng)器件層，其中，照射激光的窗口限定釋放所述壓電麥克風(fēng)器件層的邊界。