一種釔鐵石榴石單晶薄膜及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510177591.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104831357A 公開（公告）日 2015-08-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN104831357A 申請(qǐng)公布日 2015-08-12
分類號(hào) C30B29/28(2006.01)I;C30B19/10(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 楊青慧;饒毅恒;張懷武;田曉潔;文岐業(yè);賈利軍;朱英超;金曙晨;梅兵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都威頻科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 電子科技大學(xué)專利中心 代理人 電子科技大學(xué);成都威頻科技有限公司
地址 611731 四川省成都市高新區(qū)（西區(qū)）西源大道2006號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種釔鐵石榴石單晶薄膜及其液相外延制備方法，屬于電子材料領(lǐng)域。所述釔鐵石榴石單晶薄膜的成分為LaxY3-xFe5O12，x取值范圍為0.01～0.05。本發(fā)明采用Y2O3、Fe2O3、La2O3、PbO、B2O3為原料，Y2O3的質(zhì)量百分含量為0.44％，F(xiàn)e2O3的質(zhì)量百分含量為10.31％，La2O3的質(zhì)量百分含量為0.06％，PbO的質(zhì)量百分含量為87.44％，B2O3的質(zhì)量百分含量為1.75％；然后采用液相外延法生長單晶薄膜。本發(fā)明得到的釔鐵石榴石單晶薄膜的鐵磁共振線寬很窄，達(dá)到1Oe以下；薄膜的粗糙度、晶格匹配、薄膜應(yīng)力、含鉛量、雜相等都得到了改善。