一種顯示面板及其制造方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201910911205.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN110544672B | 公開(公告)日 | 2021-10-08 |
申請公布號 | CN110544672B | 申請公布日 | 2021-10-08 |
分類號 | H01L21/77;H01L27/12 | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 易志根;潘明超;殷大山 | 申請(專利權)人 | 南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司 |
代理機構 | 北京銀龍知識產權代理有限公司 | 代理人 | 許靜 |
地址 | 210033 江蘇省南京市棲霞區(qū)天佑路7號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種顯示面板及其制造方法,顯示面板的其制造方法,包括如下步驟:形成圖像化第一半導體層和第二半導體層;首先整面覆蓋柵極絕緣層,然后開設位于第一半導體層上的第三接觸孔和第四接觸孔以及開設位于第二半導體層上的第五接觸孔和第六接觸孔;對第三接觸孔和第四接觸孔內的第一半導體層和第五接觸孔和第六接觸孔內的第二半導體層進行氫等離子體處理處理;形成圖形化的第一柵極、連接電極和第二柵極。本發(fā)明顯示面板,在柵極絕緣層上形成四個接觸孔不會造成半導體層的邊緣UnderCut(底切)的異常,減少了保護多個TFT開關的驅動電路的面積,提高開口率,同時能簡化工藝。 |
