Si基薄膜電池中PECVD成膜鏤空的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310223524.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103307965B 公開（公告）日 2015-11-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN103307965B 申請(qǐng)公布日 2015-11-18
分類號(hào) G01B7/00(2006.01)I;G01B7/32(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 邵傳兵;劉小雨;花磊;王銳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 嘉程永豐科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 山東禹城漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司;漢能太陽(yáng)能光伏科技有限公司;漢能移動(dòng)能源控股集團(tuán)有限公司
地址 251200 山東省德州市禹城市高新區(qū)振興大道漢能光伏產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種Si基薄膜電池中PECVD成膜鏤空的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法。目前，薄膜鏤空采用SEM來(lái)測(cè)試鏤空面積很困難，并且針對(duì)薄膜電池尺寸的SEM設(shè)備非常昂貴。為此，本發(fā)明公開了一種Si基薄膜電池中PECVD成膜鏤空的檢測(cè)裝置，包括檢測(cè)裝置、電路系統(tǒng)和用于顯示薄膜電池中PECVD成膜鏤空面積和數(shù)量的顯示裝置；所述檢測(cè)裝置包括探針組和用于實(shí)現(xiàn)所述探針組在X軸方向做往返運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)以及用于實(shí)現(xiàn)薄膜電池在Y軸方向做往返運(yùn)動(dòng)的定位系統(tǒng)；所述探針組和電路系統(tǒng)形成閉合回路；所述顯示裝置與電路系統(tǒng)的輸出端電連接。此外，本發(fā)明還公開了一種Si基薄膜電池中PECVD成膜鏤空的檢測(cè)方法。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理、成本較低、使用方便，能夠測(cè)試出薄膜鏤空的數(shù)量和面積。