一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420237880.X 申請日 -
公開（公告）號 CN203820882U 公開（公告）日 2014-09-10
申請公布號 CN203820882U 申請公布日 2014-09-10
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙宏清;劉曉文 申請（專利權(quán)）人 嘉程永豐科技（北京）有限公司
代理機構(gòu) 濟南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 李桂存
地址 251200 山東省德州市禹城市高新區(qū)振興大道漢能光伏產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座。本一種具有獨立冷卻水系統(tǒng)的磁場可移動靶座，包括靶基板、磁鋼組件、靶材和對磁鋼組件起到調(diào)節(jié)移動作用的微調(diào)裝置，該微調(diào)裝置通過連接座與磁鋼組件相連，磁鋼組件外圍設(shè)有U型冷卻基座，U型冷卻基座內(nèi)嵌入U型冷卻水管，U型冷卻基座底部安裝靶材；微調(diào)裝置包括定位左檔、可滑動中檔、定位右檔，三檔中間間隔以靶座磁場暗區(qū)為基礎(chǔ)，可滑動中檔通過螺母連接微調(diào)絲桿，微調(diào)絲桿左、右端部均通過支撐軸承固定于定位左、右檔上，微調(diào)絲桿端部邊緣設(shè)有旋轉(zhuǎn)手柄，可滑動中檔通過連接座與磁鋼組件相連。本實用新型使靶材消耗從V型結(jié)構(gòu)變成U型結(jié)構(gòu)，方便快捷的提高靶材利用率。