一種工藝尾氣處理系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210126725.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102634772B 公開（公告）日 2017-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN102634772B 申請(qǐng)公布日 2017-02-08
分類號(hào) C23C16/44(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 嘉程永豐科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 102209 北京市昌平區(qū)北七家鎮(zhèn)宏福創(chuàng)業(yè)園15號(hào)院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種工藝尾氣處理系統(tǒng)，具體地講是涉及一種低壓化學(xué)氣相沉積反應(yīng)工藝中的特殊氣體尾氣處理系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括與反應(yīng)腔室尾氣出口相連通的真空管路和與真空泵組連通的真空管路出氣口，還包括設(shè)于真空管路內(nèi)部的、可拔插的尾氣補(bǔ)集裝置，尾氣補(bǔ)集裝置與真空管路的末端密封卡合連接，真空管路出氣口設(shè)于真空管路的側(cè)壁上。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，能夠大幅減少未完全反應(yīng)的二乙基鋅氣體進(jìn)入真空泵組反應(yīng)生成氧化鋅的量，明顯延長真空泵組的運(yùn)行時(shí)間以及機(jī)械壽命，提高設(shè)備稼動(dòng)率和工藝產(chǎn)能，降低使用成本，且易于維護(hù)。