一種加熱板支撐定位裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201110428665.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN102418087B | 公開（公告）日 | 2016-06-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN102418087B | 申請(qǐng)公布日 | 2016-06-22 |
| 分類號(hào) | C23C16/46(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 崔軍;辛科;吳國(guó)發(fā) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 嘉程永豐科技（北京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 101407 北京市懷柔區(qū)雁棲工業(yè)開發(fā)區(qū)五區(qū)36號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種加熱板支撐定位裝置，具體地講是涉及一種化學(xué)氣相沉積工藝中加熱板支撐定位裝置。該裝置包括加熱板和固定支撐裝置，固定支撐裝置下端與反應(yīng)腔室底部連接，加熱板上的四個(gè)角為經(jīng)切割的斜邊，斜邊與通過(guò)加熱板中心的對(duì)角線呈90度；加熱板兩個(gè)長(zhǎng)邊的正中間位置和四個(gè)斜邊均設(shè)有與固定支撐裝置相連接、固定的單元；固定支撐裝置上端與加熱板可調(diào)式連接。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能夠解決加熱板支撐和定位的問(wèn)題，同時(shí)保持加熱板溫度均勻性，防止熱損失，還可調(diào)節(jié)加熱板的水平，且拆卸維護(hù)方便。 |
