一種遠(yuǎn)紅外硅基超透鏡增透膜及超透鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022010432.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213903843U 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN213903843U 申請公布日 2021-08-06
分類號 G02B1/115（2015.01）I;G02B3/00（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 郝成龍;譚鳳澤;朱健 申請（專利權(quán)）人 深圳邁塔蘭斯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王珂瑜
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)福海街道塘尾社區(qū)荔園路翰宇生物工程有限公司6號樓619
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)公開了一種遠(yuǎn)紅外硅基超透鏡增透膜及超透鏡，遠(yuǎn)紅外硅基超透鏡增透膜包括依次設(shè)置的基底層、Ge層、相互交替的ZnS層和YF3層；其中所述Ge層和所述YF3層不相鄰，所述遠(yuǎn)紅外硅基超透鏡增透膜的最外層為ZnS層，所述Ge層、相互交替的所述ZnS層和所述YF3層的厚度之和大于300nm，所述遠(yuǎn)紅外硅基超透鏡增透膜除所述基底層外包括4層以上。通過在超透鏡的平面基底和微納結(jié)構(gòu)面上鍍增透膜來提高硅基超透鏡在遠(yuǎn)紅外波段的透過率。相比現(xiàn)有的紅外超透鏡，本實(shí)用新型的遠(yuǎn)紅外硅基超透鏡增透膜有效提高了超透鏡的寬譜透過率，且膜層致密，膜層間應(yīng)力相匹配、附著力強(qiáng)，且遠(yuǎn)紅外硅基超透鏡增透膜制備簡單。