一種缺陷檢測方法、存儲(chǔ)介質(zhì)和檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110473146.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113295698A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113295698A 申請公布日 2021-08-24
分類號 G01N21/88（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 魏偉;曹葵康;紀(jì)昌杰;谷孝東;劉明星 申請（專利權(quán)）人 蘇州天準(zhǔn)軟件有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐穎聰
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)科靈路78號2號樓502室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種缺陷檢測方法、存儲(chǔ)介質(zhì)和檢測系統(tǒng)，屬于圖像數(shù)據(jù)處理領(lǐng)域，可應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的表面缺陷檢測，方法包括產(chǎn)品特征點(diǎn)定位、檢測區(qū)提取、圖像預(yù)處理、缺陷檢測和缺陷篩選。圖像預(yù)處理對提取的檢測區(qū)區(qū)域進(jìn)行增強(qiáng)或拉伸調(diào)節(jié)，將檢測區(qū)的差異統(tǒng)計(jì)整體趨勢自動(dòng)調(diào)節(jié)在限制設(shè)定的范圍之內(nèi)，而缺陷檢測則采用了粗檢測和精檢測，以此很好的解決了待測件間差異導(dǎo)致檢測效果差、精度低的問題，可廣泛推廣至硅片崩邊等瑕疵檢測中。