一種石墨承載盤烘烤裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122529268.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN215713357U 公開(公告)日 2022-02-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN215713357U 申請(qǐng)公布日 2022-02-01
分類號(hào) C23C16/44(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 孫積存;馬良來(lái) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 昊石新材料科技南通有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226399江蘇省南通市高新區(qū)金源路111號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種石墨承載盤烘烤裝置,包括有可開合的箱體,箱體包括有安裝在兩側(cè)的進(jìn)氣管、出氣管;箱體內(nèi)部安裝有雙層結(jié)構(gòu)的烘烤板;烘烤板包括有上位烘板、下位烘板,上位烘板、下位烘板相對(duì)一側(cè)為三角鋸齒結(jié)構(gòu)設(shè)定,且相對(duì)一側(cè)為頂面,上位烘板與下位烘板之間形成有夾層,夾層置于進(jìn)氣管軸心處,且進(jìn)氣管管徑大于夾層的高度,使得氣體能夠?qū)κ休d盤的上下表面同時(shí)通氣,無(wú)需翻面,降低工人的工作量,提高烘干的效果,使得氣體能夠?qū)κ休d盤的上下表面同時(shí)通氣,無(wú)需翻面,降低工人的工作量,提高烘干的效果。