一種高強(qiáng)高韌碳化硅涂層石墨載盤(pán)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121972006.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215713365U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215713365U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/32（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 孫積存;馬良來(lái) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京智行陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 譚波 |
| 地址 | 226300江蘇省南通市高新區(qū)金源路111號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高強(qiáng)高韌碳化硅涂層石墨載盤(pán)，包括本體，所述本體的頂部開(kāi)設(shè)有載槽，所述本體的正下方設(shè)有螺紋環(huán)，所述螺紋環(huán)的底部設(shè)有卡弧，所述卡弧的底部開(kāi)設(shè)有卡槽，所述卡槽有若干個(gè)并圓周陣列分布，所述卡槽的正下方設(shè)有套筒，所述套筒的頂部滑動(dòng)套設(shè)有支撐桿，所述支撐桿的底部固定設(shè)有卡接在卡槽內(nèi)的卡塊，所述套筒的底部設(shè)有朝向本體外側(cè)設(shè)置的支撐腳，所述支撐腳朝向本體的外側(cè)設(shè)置，所述本體的底部開(kāi)設(shè)有螺紋槽，所述螺紋環(huán)螺紋安裝在螺紋槽內(nèi)，所述套筒上設(shè)有調(diào)節(jié)支撐桿在套筒內(nèi)伸出長(zhǎng)度的卡桿。 |
