一種沉積爐進(jìn)氣流量自動控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121971961.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215721909U 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN215721909U 申請公布日 2022-02-01
分類號 F16M11/04（2006.01）I;F16F15/08（2006.01）I;H05K5/02（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 孫積存;馬良來 申請（專利權(quán)）人 昊石新材料科技南通有限公司
代理機構(gòu) 北京智行陽光知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 譚波
地址 226300江蘇省南通市高新區(qū)金源路111號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種沉積爐進(jìn)氣流量自動控制裝置，包括氣體流量控制器，所述氣體流量控制器底部的兩側(cè)均設(shè)置有連接端，所述氣體流量控制器頂部的一側(cè)設(shè)置有操控顯示端，所述氣體流量控制器的外表面對稱設(shè)置有兩個固定板，兩個所述固定板的兩端均固定連接有固定塊，四個所述固定塊的中部均開設(shè)有通孔，四個所述通孔的內(nèi)部均插接有活動桿，四個所述活動桿的外表面均套設(shè)有彈簧，四個所述活動桿的一端分別與防護(hù)框的四個邊角固定連接，且防護(hù)框的位置與操控顯示端的位置相對應(yīng)。通過設(shè)置防護(hù)機構(gòu)，以此保護(hù)氣體流量控制器上的操控顯示端，避免發(fā)生損壞。