一種碳化硅涂層用高效沉積爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922141234.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211546661U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211546661U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/32(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 黃曉峰;黃子丹 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 鄭州芝麻知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 地址 | 226300江蘇省南通市南通高新區(qū)金源路111號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種碳化硅涂層用高效沉積爐，包括爐殼以及爐殼內(nèi)壁開(kāi)設(shè)的內(nèi)隔熱層，所述爐殼內(nèi)腔設(shè)置有托盤(pán)，所述爐殼底部開(kāi)設(shè)有發(fā)熱體，所述爐殼頂端開(kāi)設(shè)有上隔熱腔，且上隔熱腔內(nèi)部固定連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸處固定連接有中心轉(zhuǎn)桿，且中心轉(zhuǎn)桿側(cè)表壁與托盤(pán)固定連接，所述爐殼內(nèi)腔開(kāi)設(shè)有隔板，且隔板上開(kāi)設(shè)有第二開(kāi)口，所述第二開(kāi)口與托盤(pán)間隙配合，所述爐殼外側(cè)側(cè)表壁上開(kāi)設(shè)有開(kāi)口法蘭。本實(shí)用新型中，采用了三腔隔離結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了三個(gè)隔板隔出的三個(gè)腔體互相隔離互不干擾，采用了轉(zhuǎn)盤(pán)式換料結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了三組托盤(pán)上的物料便于快速的更換，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了減少其余兩個(gè)腔體完全打開(kāi)時(shí)對(duì)于溫度的損失。?? |
