一種超高真空樣品轉(zhuǎn)移腔
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021785006.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213337678U | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213337678U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | G01N35/10（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 董國(guó)材;張祥;梁楓 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 國(guó)成儀器（常州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213000江蘇省常州市常州西太湖科技產(chǎn)業(yè)園祥云路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種超高真空樣品轉(zhuǎn)移腔，包括：轉(zhuǎn)移腔、輔助腔、傳樣磁力桿、擺動(dòng)磁力桿、觀察窗、離子泵、插板閥、進(jìn)氣閥、真空計(jì)組成，所述轉(zhuǎn)移腔焊接有七根真空管路，所述真空管路真空管路的外側(cè)設(shè)有能夠與其他裝置進(jìn)行真空密封連接的真空法蘭；所述輔助腔焊接有五根真空管路，所述真空管路的外側(cè)設(shè)有能夠與其他裝置進(jìn)行真空密封連接的真空法蘭，所述傳樣磁力桿、擺動(dòng)磁力桿、觀察窗、離子泵、插板閥與轉(zhuǎn)移腔連接；所述插板閥另一端與輔助腔法蘭連接，所述真空計(jì)、進(jìn)氣閥與輔助腔法蘭連接。這樣能保證樣品在超高真空系統(tǒng)間轉(zhuǎn)移時(shí)一直處于超高真空環(huán)境中，防止外界對(duì)樣品的污染，同時(shí)不會(huì)破壞設(shè)備的真空，便于操作。?? |
