一種真空互聯(lián)樣品轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910572259.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110286244A 公開（公告）日 2019-09-27
申請公布號 CN110286244A 申請公布日 2019-09-27
分類號 G01N35/10;G01N1/36 分類 測量；測試;
發(fā)明人 董國材;張祥;張金龍 申請（專利權(quán)）人 國成儀器（常州）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 213000 江蘇省常州市常州西太湖科技產(chǎn)業(yè)園祥云路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種真空互聯(lián)樣品轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法，所述設(shè)備包括：進樣室、直線傳輸段、圓形傳樣腔、抽真空裝置及充氣裝置，所述進樣室與所述直線傳輸段之間設(shè)置一第一閥門，以使所述進樣室與所述直線傳輸段連通或隔斷，所述圓形傳樣腔與二對接裝置連接，并可通過所述對接裝置與分別轉(zhuǎn)出目標設(shè)備、轉(zhuǎn)入目標設(shè)備連接，所述圓形傳樣腔可將樣品在不同外部目標設(shè)備間傳遞樣品。本發(fā)明的優(yōu)點在于，無論轉(zhuǎn)移裝置是否與外部目標設(shè)備相連，目標樣品始終處于超高真空的環(huán)境中，使得在樣品存放及轉(zhuǎn)移過程中，且能夠避免不同設(shè)備間機械振動等噪聲的互相干擾。