一種超高真空樣品轉(zhuǎn)移腔

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010860212.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114113657A 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN114113657A 申請公布日 2022-03-01
分類號 G01N35/10（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 董國材;張祥;梁楓 申請（專利權(quán)）人 國成儀器（常州）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 213000江蘇省常州市常州西太湖科技產(chǎn)業(yè)園祥云路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超高真空樣品轉(zhuǎn)移腔，包括：轉(zhuǎn)移腔、輔助腔、傳樣磁力桿、擺動磁力桿、觀察窗、離子泵、插板閥、進氣閥、真空計組成，所述轉(zhuǎn)移腔焊接有七根真空管路，所述真空管路真空管路的外側(cè)設(shè)有能夠與其他裝置進行真空密封連接的真空法蘭；所述輔助腔焊接有五根真空管路，所述真空管路的外側(cè)設(shè)有能夠與其他裝置進行真空密封連接的真空法蘭，所述傳樣磁力桿、擺動磁力桿、觀察窗、離子泵、插板閥與轉(zhuǎn)移腔連接；所述插板閥另一端與輔助腔法蘭連接，所述真空計、進氣閥與輔助腔法蘭連接。這樣能保證樣品在超高真空系統(tǒng)間轉(zhuǎn)移時一直處于超高真空環(huán)境中，防止外界對樣品的污染，同時不會破壞設(shè)備的真空，便于操作。