一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補(bǔ)償裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920150204.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN209570747U | 公開（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209570747U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-11-01 |
| 分類號(hào) | G02B21/34（2006.01）I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 張祥; 梁楓; 丁帥 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 國(guó)成儀器（常州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213149 江蘇省常州市武進(jìn)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)祥云路6號(hào)國(guó)成 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補(bǔ)償裝置，包括樣品托底座和樣品托，樣品托上設(shè)有突出，樣品托底座上設(shè)有凹槽，突出與凹槽相匹配，形成滑動(dòng)軌道，通過對(duì)稱性設(shè)計(jì)，SPM的針尖在中間的樣品附近，樣品托和樣品的熱膨脹或收縮會(huì)以對(duì)稱中心向外膨脹或向內(nèi)收縮，從而使得樣品中間位置相對(duì)針尖的位置保持不變。大幅減少因?yàn)闃悠窚囟壬吆蜏囟鹊牟▌?dòng)而引起的樣品橫向熱漂移。 |
