一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補(bǔ)償裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920150204.1 申請日 -
公開（公告）號 CN209570747U 公開（公告）日 2019-11-01
申請公布號 CN209570747U 申請公布日 2019-11-01
分類號 G02B21/34（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 張祥; 梁楓; 丁帥 申請（專利權(quán)）人 國成儀器（常州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 213149 江蘇省常州市武進(jìn)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)祥云路6號國成
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種掃描探針顯微鏡樣品平面方向熱漂移補(bǔ)償裝置，包括樣品托底座和樣品托，樣品托上設(shè)有突出，樣品托底座上設(shè)有凹槽，突出與凹槽相匹配，形成滑動軌道，通過對稱性設(shè)計(jì)，SPM的針尖在中間的樣品附近，樣品托和樣品的熱膨脹或收縮會以對稱中心向外膨脹或向內(nèi)收縮，從而使得樣品中間位置相對針尖的位置保持不變。大幅減少因?yàn)闃悠窚囟壬吆蜏囟鹊牟▌佣鸬臉悠窓M向熱漂移。