一種五軸真空位移臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021785249.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213302258U | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213302258U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號(hào) | G01N35/10(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 董國(guó)材;張祥;梁楓;張金龍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 國(guó)成儀器（常州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213000江蘇省常州市常州西太湖科技產(chǎn)業(yè)園祥云路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及真空設(shè)備,具體是一種五軸真空位移臺(tái)，X向位移板與Y向位移板之間滑動(dòng)連接，X向位移板或Y向位移板與壓板之間滑動(dòng)連接，并分別裝有X向和Y向調(diào)整裝置，X向位移板或Y向位移板與波紋管一端焊接，波紋管另一端與法蘭盤焊接，法蘭盤與X向位移板或Y向位移板之間裝有Z向調(diào)整螺桿，壓板與旋轉(zhuǎn)調(diào)整裝置底端法蘭連接，偏轉(zhuǎn)調(diào)整裝置底端與旋轉(zhuǎn)調(diào)整裝置法蘭連接，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)在超高真空環(huán)境下的樣品的立體驅(qū)動(dòng)，Z向采用焊接波紋管密封，達(dá)到放出氣體少的要求，中空構(gòu)造，同時(shí)X、Y、Z向直線滑驅(qū)動(dòng)順暢，X、Y、Z三個(gè)方向的驅(qū)動(dòng)位置可精確控制,可針對(duì)不同的角度對(duì)樣品進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和偏轉(zhuǎn)調(diào)整，易于操作。?? |
