一種懸臂式探針壽命測算方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110234623.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113077833A 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN113077833A 申請公布日 2021-07-06
分類號 G11C29/00（2006.01）I;G11C29/08（2006.01）I 分類 信息存儲;
發(fā)明人 傅郁曉;張秀超;吳慶;聞國濤;高大會 申請（專利權(quán)）人 上海偉測半導體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海領(lǐng)洋專利代理事務所（普通合伙） 代理人 羅曉鵬
地址 200013上海市浦東新區(qū)東勝路38號A區(qū)2棟2F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種獲取懸臂式探針壽命測算方法，至少包括：獲取懸臂式探針的初始針長L0，設定懸臂式探針的針長報廢預警值G，報廢值B；獲取懸臂式探針在單位批次的芯片上的著落頻次X,并記錄最后一次著落時懸臂式探針的針長L1；計算得到懸臂式探針系統(tǒng)的探針著落的單次損耗值Y；依據(jù)前述數(shù)據(jù)計算探針的使用壽命和報廢所達到的頻次。本技術(shù)方案提供的測算方法以實際測試數(shù)據(jù)作為支撐，科學合理的對懸臂式探針系統(tǒng)中探針的使用壽命進行測算，提前預警探針的使用壽命，解決了現(xiàn)有的處理方法只能依賴于測試機量測檢查和人工發(fā)現(xiàn)問題的方式，避免現(xiàn)有處理方法的隨意性和偶然性的缺陷，保障晶圓測試的有效進行。