一種晶圓MAP圖的轉(zhuǎn)換系統(tǒng)和轉(zhuǎn)換方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110234648.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113011139A 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN113011139A 申請公布日 2021-06-22
分類號 G06F40/151;G06F40/154 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 楊恭亁;駢文勝;路峰;關(guān)姜維;高大會 申請（專利權(quán)）人 上海偉測半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海領(lǐng)洋專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅曉鵬
地址 200013 上海市浦東新區(qū)東勝路38號A區(qū)2棟2F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種晶圓MAP圖的轉(zhuǎn)換系統(tǒng)和轉(zhuǎn)換方法，其中所述晶圓MAP圖的轉(zhuǎn)換方法包括（S1）采集與待檢測晶圓有關(guān)的格式文件中的數(shù)據(jù)，其中與待檢測晶圓有關(guān)的格式文件中的數(shù)據(jù)被定義為待測晶圓數(shù)據(jù)，記載所述待測晶圓數(shù)據(jù)的文件格式被定位為待測數(shù)據(jù)格式；（S2）匹配所述待測數(shù)據(jù)格式的所述待測晶圓數(shù)據(jù)于一標(biāo)準(zhǔn)MAP格式，以確定與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)相對應(yīng)的相對的所述待測晶圓數(shù)據(jù)在所述待測數(shù)據(jù)格式的相關(guān)參數(shù)，并確定是否需要轉(zhuǎn)換，所述標(biāo)準(zhǔn)MAP格式所記載的數(shù)據(jù)為晶圓檢測設(shè)備能夠直接讀取的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)；（S3）轉(zhuǎn)錄所述待測晶圓數(shù)據(jù)于所述標(biāo)準(zhǔn)MAP格式中所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)；（S4）輸出所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)。