一種WaferID燒寫防呆的系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011523844.6 申請日 -
公開(公告)號 CN112256291B 公開(公告)日 2021-03-26
申請公布號 CN112256291B 申請公布日 2021-03-26
分類號 G06F8/61(2018.01)I;G06F11/36(2006.01)I;G06F8/70(2018.01)I 分類 計(jì)算;推算;計(jì)數(shù);
發(fā)明人 駢文勝;傅郁曉 申請(專利權(quán))人 上海偉測半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海領(lǐng)洋專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 羅曉鵬
地址 201599上海市浦東新區(qū)東勝路38號A區(qū)2棟2F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種Wafer ID燒寫防呆的系統(tǒng),該系統(tǒng)以現(xiàn)有的MES系統(tǒng)為基礎(chǔ),在該系統(tǒng)內(nèi)部至少開發(fā)訂單錄入模塊、測試訪問模塊和數(shù)據(jù)比對模塊;其中,訂單錄入模塊用于自動(dòng)讀取并錄入客戶下單時(shí)實(shí)物Wafer ID的原始數(shù)據(jù)信息;測試訪問模塊用于與測試機(jī)實(shí)現(xiàn)連通,獲取測試機(jī)中實(shí)時(shí)錄入的Wafer ID的測試數(shù)據(jù):數(shù)據(jù)比對模塊用于將訂單錄入模塊錄入的原始數(shù)據(jù)與測試機(jī)中獲取的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行比對,并分析比對結(jié)果。本技術(shù)方案在測試開始前將輸入錯(cuò)誤的信息及時(shí)比對,并反饋出來改正,避免了錄入錯(cuò)誤的信息未被發(fā)現(xiàn)時(shí),出現(xiàn)燒寫入芯片內(nèi)的Wafer ID錯(cuò)誤情況,以及由此引起的晶圓測試數(shù)據(jù)異常和晶圓損失等質(zhì)量事故的出現(xiàn),對芯片測試效率的提升有著深遠(yuǎn)的意義。??