一種柔性CIGS薄膜太陽電池的背電極結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510795225.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105355676B 公開（公告）日 2017-11-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN105355676B 申請(qǐng)公布日 2017-11-03
分類號(hào) H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張寧;余新平;張偉;孫哲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京四方智和科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金闕華進(jìn)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京四方創(chuàng)能光電科技有限公司;北京四方繼保自動(dòng)化股份有限公司
地址 100085 北京市海淀區(qū)上地四街9號(hào)四方大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種柔性CIGS薄膜太陽電池的背電極結(jié)構(gòu)，其制備方法為在柔性襯底上通過磁控濺射法沉積多層Mo薄膜作為背電極，隨后在Mo背電極上依次制備CIGS吸收層、CdS緩沖層、本征ZnO層、AZO層、Ni?Al柵電極，形成結(jié)構(gòu)為柔性襯底/多層Mo背電極/CIGS吸收層/CdS緩沖層/i?ZnO窗口層/AZO透明導(dǎo)電層/Ni?Al柵電極結(jié)構(gòu)的柔性CIGS薄膜太陽電池器件。本發(fā)明直接在柔性襯底上制備多層結(jié)構(gòu)Mo薄膜作為背電極層，不僅具有良好的導(dǎo)電性，而且可以有效避免基底材料中雜質(zhì)元素對(duì)CIGS薄膜的擴(kuò)散和滲透，替代阻擋層作用。本發(fā)明無需傳統(tǒng)柔性電池制備方法中所需的阻擋層，工藝簡單，易于控制，成膜均勻性好，適于工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)。