一種真空溫場測量裝置及測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610749816.3 申請日 -
公開（公告）號 CN106352998B 公開（公告）日 2019-07-23
申請公布號 CN106352998B 申請公布日 2019-07-23
分類號 G01K7/04 分類 測量；測試;
發(fā)明人 余新平;張寧;卓勝 申請（專利權(quán)）人 北京四方智和科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京智繪未來專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京四方創(chuàng)能光電科技有限公司;北京四方繼保自動化股份有限公司
地址 100085 北京市海淀區(qū)上地四街9號四方大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多點(diǎn)式真空溫場測量裝置及測量方法，包括多個測溫?zé)犭娕?、法蘭盤、法蘭壓框；所述法蘭盤匹配待測溫真空設(shè)備的真空腔室的法蘭孔，法蘭盤上開設(shè)與測溫?zé)犭娕紨?shù)量對應(yīng)的法蘭盤螺紋孔，將測溫?zé)犭娕家来涡敕ㄌm盤螺紋孔中，并將偶絲端部固定在真空腔室中所需要的測溫點(diǎn)上；安裝熱電偶后的法蘭盤用法蘭壓框通過壓緊螺釘安裝在腔室法蘭口，法蘭盤與腔室壁間安裝法蘭O型圈；熱電偶電源線連接至無紙記錄儀上。本發(fā)明能適應(yīng)不同法蘭尺寸條件下的溫場測定，可針對需求安裝不同數(shù)量熱電偶進(jìn)行測溫工作，有利于在單個熱電偶損壞時只需更換單根熱電偶，減少損失，且能更好的適應(yīng)不同大小空間真空腔室的測溫需求。